單軸精密運(yùn)動(dòng)旋轉(zhuǎn)臺(tái)
產(chǎn)品描述:旋轉(zhuǎn)臺(tái)采用精密工藝加工,配合精度高,使用壽命長(zhǎng)。內(nèi)置一體式閉環(huán)步進(jìn)電機(jī),可以精確控制運(yùn)動(dòng)角度,廣泛應(yīng)用于光學(xué)儀器平臺(tái)。
產(chǎn)品描述:精密控制平臺(tái)由X軸、Y軸高速直線電機(jī)、Z軸短行程高動(dòng)態(tài)響應(yīng)電機(jī)組成,擴(kuò)展延伸平臺(tái)采用旋轉(zhuǎn)Theta軸,控制維度從2軸到4軸不等。該平臺(tái)特點(diǎn)為速度響應(yīng)快,控制精度高,能夠?qū)崿F(xiàn)隨動(dòng)控制算法的載入,便于高精度檢測(cè)設(shè)備場(chǎng)合的快速應(yīng)用。
產(chǎn)品描述:該檢測(cè)設(shè)備總體方案采用基于PC和EtherCAT高速實(shí)時(shí)總線的技術(shù)路線系列產(chǎn)品,實(shí)現(xiàn)對(duì)硅片光譜參數(shù)的工序檢測(cè)。
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