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      • 硅片檢測系統(tǒng)

        所屬分類:

        半導(dǎo)體

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            產(chǎn)品描述:該檢測設(shè)備總體方案采用基于PC和EtherCAT高速實時總線的技術(shù)路線系列產(chǎn)品,實現(xiàn)對硅片光譜參數(shù)的工序檢測。

                產(chǎn)品特點:  

         緊湊型C6015系列控制器搭載體積小巧的ELMO低壓伺服產(chǎn)品,滿足半導(dǎo)體行業(yè)對于檢測設(shè)備的體積嚴(yán)苛要求,同時各部件的屏蔽接口端子良好接地保證了電控系統(tǒng)良好的EMC抗干擾性能??刂扑惴▽用?,設(shè)備要求全年24小時不停歇運轉(zhuǎn),雙軸速度模式下需要保證同步位置不能有誤差,運用飛鋸的位置補償功能算法保證軸的長期運行同步位置控制精度。

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