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      • 微米平臺(tái)

        所屬分類:

        半導(dǎo)體

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             產(chǎn)品描述:精密控制平臺(tái)由X軸、Y軸高速直線電機(jī)、Z軸短行程高動(dòng)態(tài)響應(yīng)電機(jī)組成,擴(kuò)展延伸平臺(tái)采用旋轉(zhuǎn)Theta軸,控制維度從2軸到4軸不等。該平臺(tái)特點(diǎn)為速度響應(yīng)快,控制精度高,能夠?qū)崿F(xiàn)隨動(dòng)控制算法的載入,便于高精度檢測(cè)設(shè)備場(chǎng)合的快速應(yīng)用。

            產(chǎn)品特點(diǎn):

           1、有效行程定制化(200mm-500mm);

           2、運(yùn)行速度最高到500mm/s;

           3、平臺(tái)靜態(tài)控制精度能夠達(dá)到1um;

           4、自帶Z軸高響應(yīng)隨動(dòng)控制功能,提升運(yùn)行效率;

         5、通訊接口方便快捷,能夠兼容ADS、TCP、Modbus等多種通訊協(xié)議,方便與工藝軟件無(wú)縫對(duì)接。

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