行業(yè)案例

產(chǎn)品描述：旋轉(zhuǎn)臺采用精密工藝加工，配合精度高，使用壽命長。內(nèi)置一體式閉環(huán)步進電機，可以精確控制運動角度，廣泛應用于光學儀器平臺。

產(chǎn)品描述：精密控制平臺由X軸、Y軸高速直線電機、Z軸短行程高動態(tài)響應電機組成，擴展延伸平臺采用旋轉(zhuǎn)Theta軸，控制維度從2軸到4軸不等。該平臺特點為速度響應快，控制精度高，能夠?qū)崿F(xiàn)隨動控制算法的載入，便于高精度檢測設備場合的快速應用。

產(chǎn)品描述：該檢測設備總體方案采用基于PC和EtherCAT高速實時總線的技術路線系列產(chǎn)品，實現(xiàn)對硅片光譜參數(shù)的工序檢測。

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