微米平臺
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精密控制平臺由X軸、Y軸高速直線電機、Z軸短行程高動態(tài)響應(yīng)電機組成，擴展延伸平臺采用旋轉(zhuǎn)Theta軸，控制維度從2軸到4軸不等。該平臺特點為速度響應(yīng)快，控制精度高，能夠?qū)崿F(xiàn)隨動控制算法的載入，便于高精度檢測設(shè)備場合的快速應(yīng)用。
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詳細介紹
精密控制平臺由X軸、Y軸高速直線電機、Z軸短行程高動態(tài)響應(yīng)電機組成，擴展延伸平臺采用旋轉(zhuǎn)Theta軸，控制維度從2軸到4軸不等。該平臺特點為速度響應(yīng)快，控制精度高，能夠?qū)崿F(xiàn)隨動控制算法的載入，便于高精度檢測設(shè)備場合的快速應(yīng)用。
主要技術(shù)參數(shù)如下：
1、有效行程定制化（200mm-500mm）；
1、運行速度最高到500mm/s;
2、平臺靜態(tài)控制精度達到1um；
3、自帶Z軸高響應(yīng)隨動控制功能，提升運行效率；
4、通訊接口方便快捷，能夠兼容ADS、TCP、Modbus等多種通訊協(xié)議，方便與工藝軟件無縫對接;
關(guān)鍵詞：
平臺
響應(yīng)
電機
通訊
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郵箱：[email protected]
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