微米平臺(tái)
所屬分類：
精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)
詳細(xì)介紹
產(chǎn)品描述：精密控制平臺(tái)由X軸、Y軸高速直線電機(jī)、Z軸短行程高動(dòng)態(tài)響應(yīng)電機(jī)組成，擴(kuò)展延伸平臺(tái)采用旋轉(zhuǎn)Theta軸，控制維度從2軸到4軸不等。該平臺(tái)特點(diǎn)為速度響應(yīng)快，控制精度高，能夠?qū)崿F(xiàn)隨動(dòng)控制算法的載入，便于高精度檢測(cè)設(shè)備場(chǎng)合的快速應(yīng)用。
產(chǎn)品特點(diǎn)：
1、有效行程定制化200mm-500mm；
1、運(yùn)行速度最高到500mm/s;
2、平臺(tái)靜態(tài)控制精度達(dá)到1um；
3、自帶Z軸高響應(yīng)隨動(dòng)控制功能，提升運(yùn)行效率；
4、通訊接口方便快捷，能夠兼容ADS、TCP、Modbus等多種通訊協(xié)議，方便與工藝軟件無(wú)縫對(duì)接。
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